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      1. 泛華恒興 質(zhì)量流量傳感器校準(zhǔn)系統(tǒng)
        北京泛華恒興科技有限公司

         

        a)產(chǎn)品概述

        質(zhì)量流量傳感器校準(zhǔn)系統(tǒng)作為質(zhì)量流量傳感器生產(chǎn)線終檢校準(zhǔn)設(shè)備,用于小量程質(zhì)量流量傳感器的通訊功能測試以及不同溫度下的校準(zhǔn),以保證產(chǎn)品質(zhì)量及精度。

        b)應(yīng)用專利技術(shù)

        本系統(tǒng)中以下技術(shù)正在申請實(shí)用新型或發(fā)明專利:

        《批量傳感器固定可識別裝置》
        《無繞線針床夾具》
        《高密封閥組》
        《一種多氣路連接器裝置》

        c)系統(tǒng)功能

        主要功能

        描 述

        用戶管理

        管理用戶登錄及操作權(quán)限,按權(quán)限高低分為管理員、工程師、技術(shù)員、線長和操作員,管理員具有最高權(quán)限,可以添加、刪除和修改用戶信息;

        工單操作

        用于創(chuàng)建不同溫度下的工單任務(wù),只有當(dāng)前存在的工單被終止或完成時,才能創(chuàng)建下一個工單;

        參數(shù)配置

        用于工程師對校準(zhǔn)或測試參數(shù)進(jìn)行配置;

        模式選擇

        提供生產(chǎn)模式、工程師模式以及校驗(yàn)?zāi)J焦踩N工作模式;

        錯誤日志瀏覽

        為用戶提供按時間查詢的錯誤日志瀏覽;

        數(shù)據(jù)存儲

        自動存儲測試過程數(shù)據(jù)。

        d)特性詳解 

        • 兼容多種信號輸出類型的傳感器——

           

          信號類型

          輸出方式

          模擬量

          電壓信號

          數(shù)字量

          IIC通訊信號

          SPI通訊信號

          PWM脈沖信號

           

        • 溫度可控范圍寬,穩(wěn)定性優(yōu)異——可實(shí)現(xiàn)-20℃~100℃范圍內(nèi)不同溫度點(diǎn)的精確控制,溫度控制精度為 1℃,目標(biāo)溫度下的溫度波動度為 0.2℃;
        • 良好的氣路密封性——采用鋼質(zhì)氣管,采用少接頭設(shè)計,確保系統(tǒng)密封性。圖示是使用同一傳感器夾具進(jìn)行5次(用不同顏色的曲線代表)泄漏測試時的泄漏率。(單位為sccm/s,測試壓力為2.5psi,保壓時間 20s,每個傳感器夾具包含4條氣路)
        • 高測試校準(zhǔn)精度——氣體流量控制精度達(dá) 1sccm,溫度控制精度 1℃。
        • 高測試效率——系統(tǒng)可同時對32個被測件進(jìn)行操作,8路總線并行的設(shè)計方法和溫度的快速穩(wěn)定為Cycle Time節(jié)約了大量時間,達(dá)到160 DUTs/h,滿足生產(chǎn)線節(jié)拍的要求。

           測試校準(zhǔn)穩(wěn)定可靠——GRR實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)良好。圖示為校準(zhǔn)200sccm量程的傳感器時不同流量點(diǎn)下(50/100/160/200sccm)的GRR數(shù)據(jù),均<10%。

        • 便于維護(hù)——設(shè)計了專門的探針模塊用于從傳感獲信號點(diǎn)獲取信號,損壞時更該模塊即可;氣路裝拆方便;繼電器狀態(tài)通過指示燈顯示,指示直觀。
        • 完善的安全機(jī)制——智能流程判斷;提供急停等安全操作機(jī)制,在系統(tǒng)出現(xiàn)突發(fā)狀況時對人及設(shè)備形成保護(hù)。
         
         
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