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產(chǎn)品介紹
產(chǎn)品名稱: PSM-1000工業(yè)顯微鏡 產(chǎn)品型號: PSM-1000
PSM-1000工業(yè)顯微鏡
采用全新的一體化設(shè)計,操作簡單、方便,性能優(yōu)異、可靠,功能齊全,可廣泛應(yīng)用于冶金、半導(dǎo)體、電子等行業(yè)的制造和研究領(lǐng)域。
·人機(jī)工程頭部
PSM-1000E雙目觀察頭可以在3°~30°轉(zhuǎn)動,調(diào)整觀察眼點(diǎn)的高度和觀察方向,使操作者的使用更加舒適。
·物鏡
PSM-1000采用長工作距離的無應(yīng)力平場復(fù)消色差物鏡,提供了優(yōu)異的成像質(zhì)量。關(guān)于物鏡的具體參數(shù)請參照APO物鏡樣本。
·管鏡
PSM-1000的管鏡轉(zhuǎn)盤上裝有1X NUV、1X NIR和2X VIS管鏡,三組管鏡之間可以根據(jù)需要進(jìn)行切換,切換簡單、方便。其中1X NUV對355nm和532nm波長進(jìn)行了優(yōu)化,1X NIR對532nm和1064nm波長進(jìn)行了優(yōu)化,當(dāng)使用這3個波長的激光器時,可以得到更好的激光透過率。
·調(diào)焦機(jī)構(gòu)
PSM-1000的調(diào)焦機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動舒適,工作可靠。調(diào)焦機(jī)構(gòu)最大可承載45磅(20.4kg),確保安裝激光器和CCD攝像頭后,仍然能夠正常工作。
·轉(zhuǎn)換器
PSM-1000采用4孔可調(diào)中轉(zhuǎn)換器,使用隨機(jī)配送的調(diào)中鑰匙,可以很方便地調(diào)整物鏡的齊中。
·偏光觀察
主體上留有偏光插孔,插上偏光附件(選配件),可進(jìn)行偏光觀察
·光路切換拉桿
通過推拉光路轉(zhuǎn)換拉桿可以方便的對光路進(jìn)行切換。當(dāng)轉(zhuǎn)換拉桿往外拉時,雙目頭和攝像接口的分光比為0:100,此時從攝像接口上入射的激光100%的進(jìn)入光路,提高了激光效率;當(dāng)轉(zhuǎn)換器拉桿往里推時,雙目頭和攝像接口的分光比為50:50,此時即可用雙目頭觀察,同時也可以在攝像接口上使用CCD攝像頭或激光器。
·數(shù)碼攝像系統(tǒng)
根據(jù)所使用的CCD攝像機(jī)的CCD尺寸,選擇合適的攝像接頭,安裝在攝像接口上,組成數(shù)碼攝像系統(tǒng),就可以在電腦、電視或監(jiān)視器上同步觀察。
·照明系統(tǒng)
采用同軸垂直照明系統(tǒng),光源采用外置冷光源。長達(dá)2m的照明光纖和光源遙控器(選配件)給PSM-1000帶來更自由的操作空間。
·探測工作站
PSM-1000的主體部分可以安裝在探測工作站上,進(jìn)行硅片的測試。
·激光裝置
PSM-1000的攝像接口處裝有激光安全定位銷,雙目頭前留有安裝激光安全濾色片的位置,并提供補(bǔ)償墊片。無需專用的激光工具箱,就可以方便的把激光器和激光安全濾色片安裝上。
注:在安裝和使用激光器之前,請您仔細(xì)閱讀激光器和激光安全濾色片的使用手冊。
·PSM-1000主要技術(shù)參數(shù)
目鏡 WF10X/24,視場直徑Φ24mm,獨(dú)立矯正色差
雙目頭 瞳距調(diào)節(jié)范圍55~75mm
上主體 分光比為50:50或0:100
管鏡 1X NUV、1X NIR、2X VIS
轉(zhuǎn)換器 4孔,中心可調(diào)
物鏡 長工作距離或超長工作距離;無限遠(yuǎn)平場復(fù)消色差;齊焦距離:95mm;連接螺紋:M26X1/36″(0.706);齊焦機(jī)構(gòu)(可選)
調(diào)焦機(jī)構(gòu) 調(diào)焦行程:52mm;粗動手輪4mm/轉(zhuǎn);微動手輪0.1mm/轉(zhuǎn);微動手輪1μm/格;最大承載重量:45磅(20.4kg)
照明系統(tǒng) 同軸垂直照明,可變孔徑光欄(Φ0.8~Φ6)
冷光源 輸入電壓:110V或220V;150W/21V;鹵素?zé)暨b控器(可選)
移動載物臺 XY行程:75X50mm
人機(jī)工程頭部 轉(zhuǎn)動范圍3°~30°