美國(guó)吉時(shí)利（Keithley）儀器公司， 日前發(fā)布ACS（Automated Characterization Suite）自動(dòng)特征分析套件集成測(cè)試系統(tǒng)。該測(cè)試系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)器件級(jí)、圓片級(jí)和黑盒級(jí)半導(dǎo)體特征分析工作。    

    在統(tǒng)一自動(dòng)特征分析套件中、吉時(shí)利ACS集成測(cè)試系統(tǒng)整合各種測(cè)試硬件，具有以下測(cè)量能力：    
·    吉時(shí)利4200-SCS半導(dǎo)體特征分析系統(tǒng)具有I-V源測(cè)量功能和專(zhuān)業(yè)脈沖測(cè)試工具包，例如用于先進(jìn)半導(dǎo)體材料測(cè)試的4200-PIV工具包。    
·    2600系列數(shù)字源表®測(cè)試儀具有TSP-LinkTM和測(cè)試腳本處理器（TSP）TM，可在運(yùn)行狀態(tài)下的NBTI測(cè)試或圓片級(jí)器件特征分析等應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)可擴(kuò)展的I-V通道系統(tǒng)、高速并行測(cè)量和復(fù)雜測(cè)試序列等功能。    
·    2400系列數(shù)字源表®測(cè)試儀能夠提供高電壓和高電流源，可用于高功率MOSFET和顯示驅(qū)動(dòng)器測(cè)試等領(lǐng)域。    
·    此外ACS集成測(cè)試系統(tǒng)還為用戶提供可選擇的開(kāi)關(guān)、C表和脈沖發(fā)生器等附件。    

    ACS集成測(cè)試系統(tǒng)具備兩類(lèi)配置：基本臺(tái)式配置，和用于生產(chǎn)環(huán)境集成的全高度機(jī)架式配置。    

    吉時(shí)利新型ACS系統(tǒng)非常適合技術(shù)研發(fā)、工藝研發(fā)（TD）、質(zhì)量可靠性保證（QRA）和小規(guī)模生產(chǎn)測(cè)試等領(lǐng)域的半導(dǎo)體參數(shù)特征分析工作。    

    圓片級(jí)或黑盒級(jí)自動(dòng)化測(cè)量工作常具有諸多特點(diǎn)，包括需要測(cè)試和采集建模和工藝鑒定所需大量數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)樣本，以及最大限度工具利用率。在圓片級(jí)，吉時(shí)利ACS集成測(cè)試系統(tǒng)具有圓片描述工具（Wafer Description Utility）和圓片繪圖功能。用戶能夠方便地創(chuàng)建帶有集成測(cè)試規(guī)劃的圓片描述文件。帶有顏色編碼圓片圖能夠在執(zhí)行測(cè)試過(guò)程中實(shí)時(shí)刷新，顯示Pass/Fail情況和清晰可見(jiàn)的測(cè)試結(jié)果，確保高產(chǎn)能測(cè)試輸出。    

    該系統(tǒng)另一創(chuàng)新之處在于采用交互式探針控制器。用戶利用ACS軟件控制圓片運(yùn)動(dòng)，在測(cè)試開(kāi)發(fā)過(guò)程中及真實(shí)結(jié)構(gòu)下驗(yàn)證測(cè)試配置方案，并在批量處理情況下定位到圓片問(wèn)題區(qū)域，進(jìn)行手工測(cè)試。其中提供全系列驅(qū)動(dòng)器能夠無(wú)縫集成各種半自動(dòng)和全自動(dòng)探針。    

    吉時(shí)利ACS集成測(cè)試系統(tǒng)同樣為用戶提供吉時(shí)利半導(dǎo)體應(yīng)用專(zhuān)業(yè)技術(shù)支持和功能定制支持，包括測(cè)試?yán)涕_(kāi)發(fā)（例如宏、腳本和自定義GUI）、互連方案（包括電纜、開(kāi)關(guān)、探針卡適配）以及安裝、培訓(xùn)和應(yīng)用服務(wù)。